分析標準氣體的方法很多，但常用的主要有：氣相色譜法、化學發光法、非色散紅外法以及用于微量水和微量氧分析的其他方法。
　　一、氣相色譜法:
　　氣相色譜法適用于氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣、一氧化碳、二氧化碳等無機氣體，甲烷、乙烷、丙烯及C3以上的絕大部分有機氣體的分析。通過直接法、濃縮法、反應法等樣品處理技術的應用，分析的含量范圍為10-9~99。999%。所以，氣相色譜法也是分析標準氣體中應用多、普遍的方法。
　　氣相色譜儀主要由氣路系統、進樣系統、柱恒溫箱、色譜柱、檢測器和數據處理系統等組成。 用氣相色譜法分析標準氣體，要想獲得準確可靠的分析結果，首先建立分析方法，選擇合適的操作條件和操作技術。建立分析方法可從以下幾方面考慮。
　　二、化學發光法
　　化學發光法是利用某些化學反應所產生的發光現象對組分進行分析的方法，具有靈敏度高，選擇性好，使用簡單方法、快速等特點。因此，適用硫化物、氮氧化物、氨等標準氣體的分析。
　　三、非色散紅外分析法
　　非色散紅外氣體分析器是利用不同的氣室和檢測器測量混合氣體中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等組分的含量。
　　非色散紅外氣體分析器主要由紅外光源、試樣室、濾波器、斬波器、檢測器、放大器及數據顯示裝置組成。
　　檢測器是儀器的交鍵部件，紅外檢測器分成熱檢測器和光子檢測器兩種類型。熱檢測器是一種能量轉換器，可以把熱能轉換成電信號，電信號經放大后，輸入數據裝置。光子檢測器接受紅外輻射，將半導體中的電子從非導電能級激發到導電能級，在這一過程中半導體的電阻有所降低。所以半導體檢測器比熱檢測器響應快。
　　四、其它分析方法：
　　1、微量氧分析儀
　　在高純氣體的分析中，幾乎所有的高純氣體中都要求準確測定其中微量氧的含量。由于大氣中含有大量的（21%）氧，準確測定高純氣體中微量氧乃至痕量氧，是氣體分析中的難點之一。
　　2、微量水分析儀
　　微量水分也是評價高純氣體質量的主要指標之一。幾乎所有的高純氣體都對水分有嚴格的要求，準確測量和嚴格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質量。